カレル・アーバネック記念賞
東京エレクトロン株式会社浅川輝雄氏が受賞

SEMI(本部:米国カリフォルニア州サンノゼ)は、7月13日(米国時間)、米国カリフォルニア州サンフランシスコで開催されているSEMICON WestにおけるSEMI国際スタンダードの表彰式で、最高栄誉賞である「カレル・アーバネック記念賞(SEMI International Standards Excellence Award, inspired by Karel Urbanek)」が、東京エレクトロン株式会社の浅川 輝雄氏に授与されることを発表した。
 浅川氏は、PVオートメーション国際技術委員会設立とその後のオートメーション・テクノロジー国際技術委員会への改称・発展にあたり、大きなリーダーシップを発揮した。この改組は、太陽光発電(PV)以外の産業分野においてもフロー・ショップ型の製造工程に、SEMIスタンダードが効果的に利用できるとの浅川氏の見通しによるもの。
 さらに浅川氏は、FOUP(Front Opening Unified Pod)とロードポートの互換性に関する問題点、また、インターオペラビリティの評価方法が欠落していることを明らかにし、FOUPおよびロードポートのインターオペラビリティ実現に不可欠な2つのSEMIスタンダード文書のギャップを埋める活動を先導した。
 最近では、浅川氏は、GEM300スタンダード(300mm自動化通信スタンダード)において、確実なレシピ管理スキームやリアルタイム・キャリア・ロジスティクス・コントロールにおける予測の利用といった、新たなコンセプトを導入し強化することに注力された。
 現在もスマート製造の実現には不可欠である、SEMIの装置通信スタンダードの有用性、適用性を高める活動へ貢献を続けている。
 カレル・アーバネック記念賞は、Tencor Instrumentsの創業者であり、SEMIの役員として国際的な見地からSEMIスタンダードの拡大発展を推し進めた故カレル・アーバネック氏の業績を称えて、1992年に創設された。
SEMIのスタンダード活動に貢献し、スタンダード開発において傑出したリーダーシップを発揮した個人に対して授与され、受賞者はSEMIの国際スタンダード委員会によって選出される。