蛍光Ｘ線式をはじめとする各種測定機や微小硬さ試験機をJPCA Show 2019に出展／フィッシャー・インストルメンツ
蛍光X線膜厚測定器「FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ」
(株)フィッシャー・インストルメンツ（東京都千代田区東神田2-4-6 S-GATE秋葉原ビル7階／野中等社長／TEL.03-3864-6101）では、JPCA Show2019（ブース：西2ホール 2-311）において、蛍光X線膜厚測定器「FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-µ」を展示する。同製品は、革新的なポリキャピラリＸ線光学系を採用したことにより、非常に小さな測定スポットの測定において、大きな励起強度を得ることが可能になった。そのため、極めて要求の高いプリント回路基板、コンタクトピン、リードフレームなどの非常に小さく平らな部品や構造部分の測定にも最適だ。また、測定感度を測定課題に対し最良に適合させる4種類の切替式プライマリフィルタや、プログラマブルXYステージを備えており、膜厚と組成分析の連続測定が簡単に行える。
このほか、携帯可能な蛍光Ｘ線式の膜厚測定および素材分析機器の「FISCHERSCOPE® X-RAY XAN 500」や微小硬さ試験機（HM2000）、電磁式、渦電流式、電気抵抗式など多様なハンディタイプの膜厚測定器を展示する。 特にハンディタイプの膜厚計は、高精度かつ使いやすい操作性が高く評価され、電子部品・プリント基板産業においても導入が進んでいる。今回のJPCA Showに出展する製品の 一部を次に紹介する。
■FISCHERSCOPE® X-RAY XAN 500
▽特徴＝大型の構造物やアクセスが困難な場所の測定においても測定することができる。サンプルに対して確実に配置できるように設計されており、再現性の高い膜厚測定および素材分析ができる。測定における全体的な操作および測定値表示や評価は、ユーザーフレンドリーなWinFTMソフトウェアが搭載されたタブレットPCにて行う。したがって、本機器はコンパクトな装置でありながらも高機能なソフトウェアの測定分析機能全てを使用することができる。主なアプリケーション分野として、機械部品や筐体など大型部品の膜厚測定、めっき工場の現場に携帯して測定、貴金属のハンドヘルド測定、電気めっき浴（溶液分析）の成分分析などがある。
■電磁式／渦電流式小型膜厚測定器「FMPシリーズ」
▽特徴＝高精度で汎用性の高いポータブル・ハンディタイプの膜厚測定器。 プローブによる下地素材の自動認識、簡単なボタン操作による統計機能、USB通信によるPCへのデータ出力機能を持つ。操作性が良く丈夫なシンプルモデル(FM P 10、同20)および豊富な測定機能を備えたスタンダードモデル (FMP30、同40) をラインナップ。いずれのモデルもプローブ交換方式で、測定用途にあった様々なプローブと組み合わせて高精度な非破壊膜厚測定が可能。
測定方式によってモデルが分かれており、電磁式のDELTASCOPE（デルタスコープ）、渦電流式のISOSCOPE(イソスコープ）、 両方式を備えたDUALSCOPE(デュアルスコープ） がある。
■電気抵抗式ハンディータイプ膜厚計「SRスコープ RMP30-S」
▽ 特徴＝測定方式はＥＮ１４５７１：２００４規格に準拠しており、プリント基板表面の銅の膜厚を、裏面の銅層などの影響を受けずに、正確かつ簡単に測定できる。
特に多層基板やフィルムのような薄い内装材の製品測定に適している。ハンディタイプなので、現場サイドで使いやすく、大きな液晶ディスプレイを備え、測定値、統計値や操作情報を示す文字なども見やすい。
１００アプリケーションまでの最大１万測定値の蓄積が可能。最大１０００ブロックへの分割ができる。
測定原理には電気抵抗を利用する。外側２本の接触ピンより基板上にコーティングされている銅層へ直流電流を流し、生じる電位差を内側の２本のピンで検知。この電位差を利用して銅膜厚を算出する。
■微小硬さ試験機 「FISCHERSCOPE HM2000」
▽ 特徴＝規格DIN EN ISO14577による微小硬さ(HMマルテンス硬さ）並びに弾性係数の精密測定が行え、荷重法／貫入法を使用している。ポジショニングは、手動ポジショニングによるか、またはプログラミング可能なXYステージを使用できるため、測定物のポジショニング性に対する要求が高度ものにも適している。圧子はビッカース、ベルコビッチまたはハードメタル球を使用し、オプションとして、振動の影響を低減するためのアクティブ除振テーブルを用意している。
代表的な使用分野としては、ラッカー、プラスチックまたは硬質材料皮膜(PC D、CV D)や電気めっき皮膜（装飾用、機能性）、医療工学専用の材料、電子部品、ボンディングワイヤなどの測定に使用されており、マイクロメートル領域での皮膜の微小硬さ測定システム。非常に硬い、非常に薄い、あるいは粘弾性があることといった、表面技術に対する高度な要求に対して効率的に試験ができる測定システムである。
